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基于双焦定位的透镜中心厚度测量技术

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透镜的中心厚度是光学系统中的一项重要的参数,对透镜中心厚度的测量直接影响光学系统的成像质量.在本文中提到了一种基于双焦定位的非接触透镜中心厚度新型测量技术.使用双焦透镜实现寻常光(o光)与非常光(e光)的分离,通过显微物镜将已分离的不同光束分别聚焦于被测透镜前后表面.两次聚焦时,双焦透镜的位置采用超精密光栅尺位移传感器测出.进而运用几何光学理论推算出被测透镜的中心厚度.若想实现高精度的测量,则对"猫眼"位置的定位判别技术显得尤为重要.巧妙地将返回平面波的检测问题成功转化为离焦检测问题,并选用一种像散离焦检测方法精确判断无离焦位置.

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来源
《上海市激光学会2015年学术年会》|2015年|145|共1页
会议地点上海
作者
陈力; 张祥朝; 徐敏;
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作者单位

上海市激光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类物理光学仪器;
关键词
双焦透镜; 中心厚度; 离焦检测; 成像质量;

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