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纳米ZnO薄膜表面形貌的分形表征

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用原子力显微镜(AFM)测试溶胶凝胶法制备znO薄膜的表面形貌,用多重分形理论定量表征不同退火温度薄膜的表面形貌.结果显示：所有样品的多重分形谱f(α)-α均呈向左的钩状(即△f>0),当退火温度从400℃升高到1000℃过程中,分形谱宽△α(△α=max-αmin)由0.050增大到0.200;说明薄膜表面最高峰的数目远大于最低谷的数目,表面高度分布不均匀程度随退火温度升高而增大.

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来源
《第七届华东三省一市真空学术交流会》|2011年|325-331|共7页
会议地点南京
作者
龚万兵; 吕建国; 黄凯; 陈学梅; 朱剑博; 宋学萍; 孙兆奇;
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作者单位

江苏省真空学会;

安徽省真空学会;

浙江省真空学会;

上海市真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.21;
关键词
纳米ZnO薄膜; 溶胶凝胶法; 多重分形; 表面形貌; 原子力显微镜;

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