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纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数

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纳米压痕技术是表征薄膜材料性能的常用方法,由于基底效应的影响,测试结果并不能真正的反映薄膜材料的性能.本文利用有限元分析和纳米压痕相结合的方法,将膜基体系的纳米压痕加载曲线拟合成幂函数形式,利用加载曲线指数定义一个基底效应因子,定量地反映基底效应.并提出了确定横观各向同性薄膜弹性参数和压电系数的方法,分别求解了PZT薄膜的弹性模量和压电常数.

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来源
《2010年中国计算力学大会暨第八届南方计算力学学术会议》|2010年|1-18|共18页
会议地点四川绵阳
作者
郑辉; 王甲世; 宋书涛; 郑学军;
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作者单位

中国力学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的性质;
关键词
纳米压痕; 有限元法; 压电薄膜; 无量纲分析;

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