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氧化铍基金刚石薄膜的制备

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本文采用超高真空热丝化学气相沉积系统（HFCVD），在多晶氧化铍（BeO）陶瓷上沉积了金刚石薄膜。采用X射线衍射仪和激光拉曼光谱仪分析薄膜成分，通过场发射扫描电镜（FESEM）观察薄膜表面形貌，借助热物性激光测试仪测量膜/基复合体的热扩散系数，并计算其热导率。结果表明：随着CH4浓度的增加，金刚石晶粒尺寸逐渐减小，复合体的热导率逐渐降低；沉积条件对CVD法制备氧化铍基金刚石薄膜的性能有重要影响。

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来源
《2010中国材料研讨会》|2010年|1-11|共11页
会议地点长沙
作者
张益豪; 余志明; 陈永勤; 郁琦;
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作者单位

中国材料研究学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
金刚石薄膜; 氧化铍陶瓷; 薄膜性能; 材料热导率; 热丝化学气相沉积;

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