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薄膜XRD应力分析的基本概念,基本方程式与衍射几何

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本文将推荐若干实用的测试方法,对于无织构和宏观弹性各向同性薄膜试样,建议采用掠入射,多衍射线的薄膜应力分析方法,在这种情况下,当用小入射角时,常规的sin2φ法可以使用,应变～sin2φ的直线斜率可以用于获得薄膜应力值;对于有织构试样,材料呈宏观弹性各向异性,建议采用晶体群方法,该法对于强又峰锐织构膜应力分析行之有效;对于具有(hhh)和(h00)的应变测量,具有准各向同性的优点,可以直接采用sin2φ法;而对于具有纤维织构的试样,可以直接测量纤维轴的晶面间距和无织构试样的晶面间距;关于无应变d0也可以通过φ0=arcsin[2vhkl/1+vhkl]1/2角对应变试样进行直接测量.上述这些方法对于薄膜,涂层,多层膜或体材近表面区的应力分析,具有十分重要的理论价值和使用意义,可用于超导膜以及其他新型的电子薄膜材料等的应力分析,为其性能改善和控制提供理论依据.

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来源
《帕纳科第11届用户X射线分析仪器技术交流会》|2010年|47-53|共7页
会议地点西宁
作者
Wang Ning; 王宁; Wang Chaoqun; 王超群;
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作者单位

帕纳科中国用户X射线分析仪器技术交流会组委会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
薄膜材料; X射线衍射; 应力分析; 晶粒生长;

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