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溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究

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透明导电薄膜作为薄膜材料的重要分支，因其具有良好的光电特性，用途相当广泛。目前市场上广泛使用的是ITO(In2O3∶Sn)薄膜，其技术已经相对成熟，但由于In、Sn等材料有自然储量少、制备工艺复杂、成本高、有毒、稳定性差等缺点，从而限制其在实践中进一步发展，因此，急需一种替代产品问世，以满足人们的需要。ZnO是重要的功能材料，具有电导、光导、压电、声光、发光、气敏及化学催化等特性，并且可以在很宽范围内调节和控制。近年来更成为透明导电薄膜的研究热点，而AZO(ZnO∶Al)薄膜是ZnO掺杂体系中最具代表性的。

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来源
《上海市化学化工学会2010年度学术年会》|2010年|18-2130|共5页
会议地点上海
作者
陈宇晖; 姜建华; 黄月霞; 朱源泰; 韦莉;
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作者单位

上海市化学化工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
溶胶-凝胶法; 光电性能; 掺铝氧化锌透明导电膜;

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