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高导热氮化铝陶瓷的粉末注射成形技术研究

摘要

氮化铝(AlN)陶瓷具有高的热导率、低的热膨胀系数、高的电阻率、良好的力学性能等特性,被认为是新一代高性能陶瓷基片和封装的首选材料。论文研究了利用粉末注射成形技术制备高导热AlN陶瓷零部件的工艺。以AlN粉末为原料,加入5%Y2O3为烧结助剂,选用蜡基粘结剂体系(PW+PP+SA),粉末装载量为62%(体积分数),最佳的注射参数是:注射温度为160~170℃,压力为90~100MPa。rn 注射坯采用溶剂脱脂+热脱脂的脱脂工艺。脱脂坯在1850℃流动氮气氛中烧结,可以制备出热导率为232.4W·(m-1·K-1)的AlN陶瓷。

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