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微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法

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摘要

研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生,提高微型电场传感器的成品率。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|328-329352|共3页
会议地点杭州
作者
郭鑫; 张海岩; 彭春荣; 夏善红;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
微型电场传感器; 结构释放; 粘连现象; 控制方法;

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