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溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现

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介绍溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合测量位移技术,将0～5mm位移转变为与其成比例的电压信号,分析、讨论了传感器工作原理与设计方法。地面和飞行试验结果显示,该组合技术具有良好的静态测量精度和动态响应性能,适用于飞行器动态环境小量程间隙的测量。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|281-283312|共4页
会议地点杭州
作者
朱永宜; 王稳石;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类航天飞机;
关键词
飞行器; 动态间隙测量; 测量弹簧; 溅射膜片; 组合技术; 毫米级位移测量;

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