厚膜半导体工艺在气敏元件生产中的应用

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• 来源
  《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|208-209211|共3页
• 会议地点 杭州
• 作者

  陈昌富; 王程亮;

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• 作者单位

  中国仪器仪表学会;

  中国电子学会;

  中国航空学会;

  中国生物医学工程学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 厚膜混合集成电路（厚膜电路）;
• 关键词

  厚膜半导体工艺; 气敏元件; 精密丝网印刷; 激光分割; 激光调阻; 平面绑定;