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聚二甲基硅氧烷气动微型蠕动泵制作工艺的研究

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聚二甲基硅氧烷(PDMS)气动微型泵由3个PDMS气动微阀构成,依靠3个微阀的蠕动作用实现输运液体的作用。PDMS气动微泵的关键制作工艺是液体通道的弧形化和PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接。实验证明AZ4620正性光刻胶所制作的阳模能形成剖面形状呈弧形的液体通道。采用等离子体氧化处理法封接技术实现了PDMS层之间、PDMS层与玻璃基片之间的封接,该工艺易操作,封接速度快,而且封接效果好。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|210-211|共2页
会议地点杭州
作者
杨哲峰;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212:TP211.32;
关键词
聚二甲基硅氧烷; 气动微型蠕动泵; 制作工艺; 液体输运; 等离子体氧化; 封接技术;

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