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新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪

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文中提出了一种新型基于驻波模式的声表面波(SAW)MEMS-IDT陀螺仪,包括一个谐振腔内驻波反节点位置分布金属点阵的两端SAW谐振器和一组平行于谐振器设置的双延迟线型SAW振荡器。SAW谐振器形成稳定的驻波,由于旋转利用分布的金属点阵产生Coriolis力并激发垂直于旋转方向的二次SAW,并与SAW延迟线上传播的SAW产生相干效应,以此改变声波速度,从而导致延迟线型振荡器的频率输出发生变化。双延迟线振荡器结构有效地降低由于外围温度等干扰的影响。单相单向换能器(SPUDT)以及梳状换能器结构用于构建SAW延迟线,以改善振荡器的频率稳定性。所研制的用于构建陀螺仪的80MHz两端谐振器以及延迟线器件的测试结果表现出低损耗等特点。利用旋转台对所研制的SAW陀螺仪进行性能评价,在0～1000deg/s范围内表现出良好的灵敏度(119Hz/(deg·s))以及线性度性能。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|299-301305|共4页
会议地点杭州
作者
侯常春;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类陀螺仪表;
关键词
驻波模式; 声表面波陀螺仪; 两端谐振器; 延迟线器件; 性能评价;

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