首页> 中文会议>第11届全国敏感元件与传感器学术会议 >一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作

一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

介绍了振动环式陀螺仪的基本工作原理,分析了传统的振动环式陀螺仪所存在的缺陷。并针对这些问题,设计和制作了一种单晶硅式振动环陀螺仪。该陀螺仪采用硅玻璃键合工艺制作,利用振动环作为敏感元件,选取静电激励、电容检测的工作方式。设计陀螺仪的工作频率高于15kHz,以降低了环境对陀螺仪性能的影响。陀螺仪的制作方法简单,只需要2块掩模板,便于批量化生产。

著录项

来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|316-317349|共3页
会议地点杭州
作者
涂意美; 魏红一; 杨泽;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类陀螺仪表;
关键词
单晶硅; 振动环陀螺仪; 硅玻璃键合工艺; 工作频率; 静电激励; 电容检测;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作 [J] . 张明 ,陈德勇 ,王军波 . 仪表技术与传感器 . 2009,第0z1期
2. 一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作 [J] . 张明 ,陈德勇 ,王军波 . 仪表技术与传感器 . 2009,第B11期
3. 单晶硅振动环陀螺仪的制作 [J] . 张明 ,陈德勇 ,王军波 . 光学精密工程 . 2010,第011期
4. 一种用于MEMS陀螺仪的隔振平台及其结构设计 [J] . 许高斌 ,杨海洋 ,王超超 . 合肥工业大学学报（自然科学版） . 2021,第008期
5. MEMS单晶硅加热雾化芯片设计与制作 [J] . 韩熠 ,宋凤民 ,李廷华 . 传感器与微系统 . 2019,第010期
6. 解耦型微陀螺仪的设计、制作与性能分析 [C] . 李明辉 ,高世桥 . 2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会 . 2007
7. 一种感应单轴的硅微机械振动陀螺仪的设计与制作 [A] . 郑伟 . 2000

一种单晶硅振动环陀螺仪的设计与制作

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅