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一种新型固态静电传感器的设计与模拟

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电场测量系统广泛应用于航空、航天、国防、气象、电力等多个领域.根据电场传感器工作原理,电场传感器可以分为光学(光纤)式和电荷感应式两大类。电荷感应式电场传感器有旋片结构、双球结构、火箭结构和MEMS结构。文中给出了一种新型的MOSFET感应式电场传感器,并用MEDICI软件进行了模拟。模拟结果表明MOSFET感应式电场传感器的感应电流IE和电场强度E有良好的线性关系。

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来源
《第11届全国敏感元件与传感器学术会议》|2009年|131-133166|共4页
会议地点杭州
作者
荆新军;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
电场测量; 静电传感器; 感应电流; 电场强度;

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