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微结构超声复合加工机理分析与试验

摘要

提出制作微结构的超声复合电加工方法,分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工过程机理.用微细放电组合技术制作多种截形微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验,结果表明:超声加工是制作硬脆材料微结构的有效方法,超声复合电火花制作金属材料微结构有好的精度及稳定性,超声复合电解加工兼有效率高、精度好的技术优势.

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