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行波超声波电机伺服控制技术研究进展

摘要

超声波电机利用压电陶瓷的逆压电效应,将电能转化为机械能,电机输入输出之间存在明显的非线性和时变性,文章总结了国内外行波超声波电机控制技术的发展趋势,论述了行波型超声波电机速度控制和位置控制技术的研究进展。

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