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平衡式干涉仪的光学系统设计

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介绍了两种平衡式干涉仪的光学系统设计方法。分别给出了用于单端测量和双端测量的具体设计方案。由于采用的平衡式光学系统中测量光束和参考光束具有近似相等的光程长度和相似的路径,其光程差仅由被测件的长度或被测表面与测量参考镜之间的距离而引起,因此干涉仪具有很高的稳定性。用双端测量双光程平衡式干涉仪对准零长度试样进行测量,在185 h测量中所得数据的标准偏差为2.1nm。

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来源
《2009年全国几何量精密测量技术学术交流会》|2009年|1-4|共4页
会议地点杭州
作者
任冬梅; K M Lawton; J A Miller; 朱振宇; 万宇;
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作者单位

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH744.3;
关键词
光学系统设计; 微位移测量; 平衡式干涉仪; 双端测量;

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