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ZQJ291H型氦质谱检漏仪的应用

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本文介绍了ZQJ291H氦质谱的基本原理，在检漏过程中的应用及分析，并提出了改进的方向。通过分析认为：ZQJ291H氦质谱检漏仪及软件能很好地满足航天器管路系统总漏率的测试工作，能明显地测试出空气中0.1ppm氦浓度的变化；做好检漏仪的保养与维护，采用小流量的循环泵，增加测试容器内气体均匀性均可以提高测试结果的稳定性；为了更好地满足总漏率测试的需要，应该尽量减小标气阀、样气阀和小孔之间的体积。

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来源
《第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会》|2009年|23-25|共3页
会议地点合肥
作者
师立侠; 杨定魁;
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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB774.3;
关键词
氦质谱大气累积; 质谱检漏仪; 技术改进; 总漏率测试;

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