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纳米碳管和氧化锌场发射器件气体成份分析

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纳米碳管(carbon nanotube,CNT)和纳米氧化锌(zincoxide,ZnO)是目前非常热门的两种场发射阴极材料,但是，纳米碳管和氧化锌大的比表面积和表面结合能使得环境气体很容易与其发生相互作用，从而影响其场发射性能。本文采用开孔分析法研究了场发射器件内残余气体成份以及在工作和打火条件下器件内气体成份的变化，得到在纳米碳管场发射器件中存在的残余气体成份以及在工作过程中的放气成份均为H2，CH4、CO及Ar，而纳米氧化锌场发射器件内主要的气体成份为H2、CH4.CO，Ar和CO2，在工作和打火时的放气成份中还发现了O2.在相同的工艺条件下，纳米碳管场发射器件和氧化锌场发射器件内残余气体成份的差异主要来自器件封接及工作过程中阴极材料的分解，放气以及阴极材料与环境气体之间的相互作用。

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来源
《第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会》|2009年|124-127|共4页
会议地点合肥
作者

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作者单位

中国真空学会;

中国计量测试学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类部件装配与总装配;
关键词
纳米碳管; 纳米氧化锌; 场发射器件; 残余气体;

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