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双筒牵引复合型分子泵的研制

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本文介绍了成都南光机器有限公司新研制的双筒牵引复合型分子泵,对分子泵的研制意义、目的、结构形式、技术要点和不足之处做了介绍。这种新型分子泵的研制提高了国内分子泵制造的技术,为分子泵技术的更新换代开辟了一个新的道路。

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来源
《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》|2009年|12-14|共3页
会议地点西宁
作者
常学森; 靳毅; 罗宁;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空泵;
关键词
双筒牵引; 复合型分子泵; 制造技术;

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