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一种电致伸缩薄膜材料的试制

摘要

在过去的几十年里,铁电薄膜在制备和理论研究方面取得了很大的发展,其研制成果在非挥发铁电存储、热释电红外探测、非线性光学等技术领域获得了广泛的应用。近年来在MEMS技术快速发展的需求牵引下,不断发展和完善高性能功能薄膜制备的基础性研究显得尤其重要。本文尝试采用球磨的PMN基电致伸缩材料超细粉体的方法来制作薄膜,通过添加适量的有机溶剂,利用旋涂法来沉积PMN基的电致伸缩薄膜。实验表明,这种制膜方案是有可能性的。

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