首页> 中文会议>2008年全国声学学术会议 >适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制

适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

硅微压电传声器相对于电容传声器具有制备工艺简单，不需要复杂的气隙制备工艺;工作时，利用的是压电薄膜的压电效应，因此不需要偏置极化电压，这样大大方便了传感器和电路的集成;其频率动态范围要比电容式的宽;内阻低，若作为超声发射换能器具有较大的优势，另外，电容传声器存在灵敏度提高同时，动态响应范围会缩小的矛盾。本文利用溶胶-凝胶法制备了沿(100)方向择优的PZT薄膜，利用X射线衍射仪测试了其晶体结构;利用SEM分析了其微观结构;测试分析了其介电和铁电性能。

著录项

来源
《2008年全国声学学术会议》|2008年|554-555|共2页
会议地点上海
作者

展开▼
作者单位

中国声学学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN641.4;
关键词
硅微传声器; 压电传声器; 压电薄膜; 气隙制备; 压电效应; 铁电性能; 微观结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 硅微ZnO压电薄膜传声器的研制 [J] . 杨楚威 ,黄歆 ,李俊红 . 应用声学 . 2003,第005期
2. PZT压电薄膜的压电系数d_(31)的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟 [J] . 周嘉 ,黄宜平 . 复旦学报：自然科学版 . 2002,第2期
3. 硅基PZT压电薄膜微开关的设计和制作 [J] . 娄利飞 ,杨银堂 ,李跃进 . 功能材料与器件学报 . 2007,第6期
4. 基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器 [J] . 刘梦伟 ,汪承灏 ,李俊红 . 纳米技术与精密工程 . 2011,第004期
5. 圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制 [J] . 杨楚威 ,李俊红 ,黄歆 . 应用声学 . 2006,第004期
6. 硅微压电薄膜传声器的制备 [C] . 杨楚威 ,黄歆 ,解述 . 中国声学学会2002年全国声学学术会议 . 2002
7. 用于微执行器的PZT压电薄膜制备与表征 [A] . 王文好 . 2015

适用于压电硅微传声器的PZT压电薄膜的研制

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅