首页> 中文会议>第一届全国纳米材料与结构检测与表征研讨会 >量值溯源与纳米几何量计量国际比对

量值溯源与纳米几何量计量国际比对

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

尺度是纳米技术区别于其它技术的本质特征。纳米科学技术研究、纳米新材料研发及其纳米产品制造都依赖于对纳米尺度上各种特性的高准确度和高重复性测量。可以说,纳米测量仪器和计量学研究是保证纳米技术成功发展的关键因素,而其中纳米几何量计量又是各种其它纳米测量的基础。然而,小于100nm的几何特征的测量是对长度计量技术的重大挑战:即要求在至少两维方向上具有纳米级的分辨力才能用于纳米尺度几何特征的测量,因此以往的测量仪器和手段难以满足这样的需求。纳米几何结构包括了距离、形状、表面粗糙度、台阶高度、膜厚、间距和线宽等。rn 通常用于这些结构测量的仪器包括了扫描探针显微镜(AFM、STM、SNOM)、扫描电镜、透射电镜和部分光学显微镜等。然而为了能够得到有效的量值,这些仪器必须通过传递标准进行校准,从而能够通过具有规定不确定度的不间断的比较链使其测量结果能够溯源到国家纳米计量标准并进而溯源到米定义国家基准,从而确保量值准确可靠且具有可比性、可重复性和可复现性。因此国家最高计量技术机构应该建立相应的具有量值溯源能力的国家纳米计量标准装置,对这些传递标准进行检定校准。

著录项

来源
《第一届全国纳米材料与结构检测与表征研讨会》|2008年|17-18|共2页
会议地点宁波
作者
高思田; 杜华; 卢明臻; 崔建军; 施玉书;
展开▼
作者单位

中国微米纳米技术学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;几何量计量;
关键词
纳米计量; 纳米几何结构; 结构测量; 几何量计量;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 几何量纳米计量发展综述 [J] . 张燕兵 ,冷德梅 . 宇航计测技术 . 1993,第006期
2. 纳米级几何量的计量 [J] . 大石忠尚 ,吴风 . 国外计量 . 1989,第002期
3. 纳米级几何量的计量 [J] . 大石忠尚 ,吴风 . 现代测量与实验室管理 . 1989,第002期
4. 创一流检测水平,树武汉计量品牌——武汉市计量测试检定(研究)所创建全国一流的几何量检测中心 [J] . 武汉市计量测试检定(研究)所 . 计量与测试技术 . 2018,第011期
5. 国家重大技术装备几何量计量站顺利通过国家质检总局法定计量技术机构考核 [J] . . 计量与测试技术 . 2007,第1期
6. 紫外辐射度的量值溯源与国际比对 [C] . 代彩红 ,于家琳 ,于靖 . 2009年中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会 . 2009
7. 新型六维力传感器的计量测试技术与量值溯源研究 [A] . 王耀弘 . 2015

量值溯源与纳米几何量计量国际比对

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅