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调制周期对ZrB2/AlN纳米多层膜结构和机械性能的影响

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本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备了ZrB2、AlN和一系列zrB2/AlN纳米多层膜,利用XRD、XP-2台阶仪、纳米力学测试系统表征了薄膜的微结构和机械性能,分析了调制周期对薄膜结构与机械性能的影响。结果表明,一些多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体单层膜材料硬度的平均值,当调制周期为14.1nm时,多层膜硬度达到最高(22.9GPa),弹性模量、内应力、以及划痕测试均达到最佳效果。

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来源
《二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛》|2008年|381-384|共4页
会议地点天津
作者

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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;薄膜的性质;
关键词
纳米材料; 多层薄膜; 薄膜结构; 薄膜硬度;

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