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工作气压对ZrB2/W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响

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本文利用超高真空射频磁控溅射系统制备了一系列的ZrB2/W多层薄膜。通过XRD、纳米力学测试系统和表面轮廓仪分析了该体系合成中工作气压对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明,多层膜的纳米硬度值都高于两种个体材料的硬度值；当工作气压为0.6Pa时,结晶出现多元化,多层膜体系的硬度、弹性模量、应力均达到最佳效果,最大硬度达到39.4GPa。多层膜的机械性能改善明显与工作气压的变化有直接的联系,证明了通过选择合适的工作气压条件,合成具有高硬度的纳米多层膜是可以实现的。

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来源
《二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛》|2008年|113-116|共4页
会议地点天津
作者

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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;薄膜的性质;
关键词
纳米材料; 多层薄膜结构; 薄膜硬度; 机械性能; 工作气压;

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