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TiO2薄膜紫外探测器的光电特性

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采用直流反应磁控溅射的方法制备TiO2薄膜,用XRD、SEM和UV-Vis分别表征TiO2薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱。并用此材料制备MSM光电导型TiO2薄膜紫外光探测器,研究其光电特性。实验结果表明,TiO2探测器在紫外区有较高的光电流：在紫外波段230-300nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦；且其光响应的上升迟豫时间约为3s,下降响应时间约为15s.表明TiO2可作为一种良好的紫外探测材料。

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来源
《第七届中国纳米科技（西安）研讨会》|2008年|165-170|共6页
会议地点西安
作者
王怡; 江伟; 邢光建; 武光明; 李东临;
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作者单位

中国微米纳米技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类紫外技术及仪器;
关键词
磁控溅射; 薄膜; 紫外探测器; 光响应;

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