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混合集成电路中多余物提取方法的探讨

摘要

混合集成电路存在的多余物可以分为可动多余物和不可动多余物两个类别.文中阐述了多余物产生的来源以及确定可动多余物存在的两种方法,介绍了金属封装混合集成电路的封装结构以及如何采用开盖法,开洞灌注法、盖板开孔法这三种提取多余物的方法,并对各种方法的使用特点进行了分析,详细说明了用盖板开孔法提取可动多余物的过程.

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