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20.6％N型双面电池隧穿氧化层钝化技术研究

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隧穿氧化层是一种新型、高效的钝化技术，本文在N型双面电池的正面，利用产线现有扩散设备在电池正面模拟制备了含硼隧穿氧化层，通过工艺参数的优化，确定了最佳工艺参数，并通过对正背面方阻、正背面ECV结型的测试，确定工艺在不影响双面掺杂及背面钝化效果下，可达到使硅片表面多子穿过的隧穿效果。通过制备小批量含硼的隧穿氧化层的N型双面电池验证，可以使电池的Voc提高4.7mV，Isc提高了20mA，FF提升0.18%，电池效率提高了0.24%。

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来源
《2015中国光伏大会暨第十五届中国光伏学术年会》|2015年|168-171|共4页
会议地点北京
作者
巩翠翠; 郑飞; 陶智华; 张忠卫;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中国光伏行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM914.4:TM910.5;
关键词
双面太阳电池; 隧穿氧化层; 钝化工艺; 转换效率;

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