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负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响

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本文采用线性离子束来制备DLC薄膜,并研究偏压对DLC膜结构和性能的影响。研究表明,随偏压增加,薄膜残余应力和力学性能呈相似的变化趋势,先增加后减小,但残余应力在-100V最大,而硬度和附着力在-200V最大。Raman结果显示,薄膜残余应力主要与C-Csp3键含量有关.而薄膜硬度除受sp3键含量影响外,还可能与薄膜致密度有关。

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来源
《第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛》|2008年|122-125|共4页
会议地点武汉
作者

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作者单位

中国机械工程学会;

中国腐蚀与防护学会;

湖北省机械工程学会;

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正文语种
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中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
类金刚石薄膜; 机械性能; 力学性能; 离子束沉积;

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