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Y掺杂BST薄膜介电性能研究

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用改进溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钇(Y)掺杂Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜，研究了Y掺杂对BST薄膜表面结构和介电性能的影响。XPS结果表明，Y掺杂有利于薄膜钙钛矿结构的形成，但对氧空位没有明显的抑制作用。SEM和AFM结果表明，Y掺杂能缓解薄膜应力、减少薄膜裂纹、细化晶粒，进而改善薄膜的表面结构。在进行Y掺杂后，薄膜的介电性能得到明显提高，40V外加电压下的介电调谐率大于40％及零偏压下介电损耗为0.0210，优化因子大于20。

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来源
《第十五届全国高技术陶瓷学术年会》|2008年|621-623|共3页
会议地点沈阳
作者
潘笑风; 廖家轩; 王洪全; 张佳; 傅向军; 魏雄邦;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
钛酸锶钡薄膜; 制备工艺; 介电性能; 掺杂效应;

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