Zn(O,S)缓冲层的light-soaking效应研究

摘要

本文尝试以以溅射工艺制备Zn(O,S)缓冲层代替传统工艺的CdS层和i-Zn0层,不仅工艺步骤得到简化,并且使整体工艺均在真空环境下进行,以此避免工业化生产中由于CIGS脱离真空环境可能受到的污染,从而提高产品的良率。rn 非CdS的缓冲层普遍会有light-soaking现象,在干法制备缓冲层上尤其如此。本文在优化Zn(O,S)缓冲层的过程中,研究了不同溅射环境、S比例等因素下的缓冲层对light-soaking现象的影响。此外,对于CIGS/i-Zn0/Al-ZnO,CIGS/CdS/i-Zn0/Al-ZnO,GIGS/Zn(O,S)/Al-Zn0等不同电池结构的light-soaking现象也进行了对比研究。本研究对于真空干法制备CIGS太阳电池缓冲层提供了重要参考。

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