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斜角沉积制备可调节纳米锥状阵列的研究

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摘要

柱状蛾眼结构光学薄膜良好的减反射性能对于要求工作在较宽光谱的光电器件具有十分重要的意义.本文采用电子束蒸发的方式,通过控制蒸发速率、基底的旋转方式和沉积角度制备出直径变化的纳米柱阵列.研究了斜角沉积过程中沉积角度及基底旋转对薄膜形貌的影响,并讨论了纳米柱阵列结构的形成机理.

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来源
《第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会》|2014年|244-248|共5页
会议地点北京
作者
张浩; 娄朝刚;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中国光伏行业协会;

国家可再生能源中心;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
可调节纳米锥状阵列; 制备工艺; 斜角沉积过程; 表面形貌;

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