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皮秒激光与纳秒激光在PERC电池背面去膜的对比分析

摘要

ERC太阳电池结构主要针对电池的背面进行优化,形成局域背场,大大减少了背表面的复合,提高了电池的效率.采用532nm的皮秒和纳秒激光烧蚀掉背面膜层来实现背面的局部接触区域,对比了去膜后的表面形貌,硅片损伤情况,然后通过适当的烧结工艺,形成较好的局域Al背场,最后分析了两种激光器制作的电池的效率差别的原因.

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