首页> 中文会议>2007年全国溶胶-凝胶科学技术学术会议 >常压干燥法的疏水型低介电常数气凝胶薄膜

常压干燥法的疏水型低介电常数气凝胶薄膜

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

气凝胶薄膜具有超低的介电常数,在超大规模集成电路互连系统中有着巨大的应用潜力.采用溶胶-凝胶技术,通过酸/碱二步法控制实验条件,结合低表面张力溶剂替换以及CH3非活性基团置换修饰、超声振荡等,不需要超临界干燥,而仅在常压下就可以通过简单的提拉过程制备出疏水型低介电常数气凝胶薄膜.测得的红外透射光谱表明所制备的薄膜由于掺入甲基基团而疏水,接触角测试值约120°,制备过程中充分注意到:稀释、老化、有机修饰表面、热处理和提拉条件对膜的影响,使其过程达到最佳.热处理温度在150～650℃,采用6%三甲基氯硅烷时,制得的疏水型气凝胶薄膜折射率为1.08～1.12,介电常数为1.62～1.92.

著录项

来源
《2007年全国溶胶-凝胶科学技术学术会议》|2007年|163-166|共4页
会议地点北京
作者

展开▼
作者单位

中国硅酸盐学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类凝胶及软胶;
关键词
气凝胶薄膜; 低介电常数; 溶胶-凝胶法; 常压干燥法;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 常压干燥法的疏水型低介电常数气凝胶薄膜(英文) [J] . 姚兰芳 ,岳春晓 ,鲁凤琴 . 稀有金属材料与工程 . 2008,第A02期
2. 常压干燥法制备SiO2气凝胶及表征 [J] . 王立艳 ,于超 . 吉林建筑大学学报 . 2020,第004期
3. 常压干燥法制备SiO2气凝胶及表征 [J] . 王立艳 ,于超 . 吉林建筑工程学院学报 . 2020,第004期
4. 基于疏水改性常压干燥法制备介孔块状SiO2气凝胶 [J] . 林玲 ,李子银 ,冒海燕 . 化学研究 . 2020,第003期
5. 常压干燥法制备超疏水二氧化硅气凝胶毛毡 [J] . 秦慧元 . 科技传播 . 2016,第009期
6. 溶胶凝胶-常压干燥法制备TiO2气凝胶的正交实验和分析 [C] . 赵乐乐 ,王守信 ,王远洋 . 第十一届全国工业催化技术及应用年会 . 2014
7. 常压干燥法快速制备SiO2气凝胶及Fe3+掺杂TiO2气凝胶研究 [A] . 张丁日 . 2013

常压干燥法的疏水型低介电常数气凝胶薄膜

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅