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热处理对Co-Cr-Ta合金靶材微观结构和性能的影响

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Co-Cr-Ta合金薄膜是一种重要的磁记录介质,目前广泛应用于磁记录领域。Co-Cr-Ta合金具有铁磁性,有高的磁导率。对于铁磁性靶材来讲,磁通密度(Pass Through Flux,简称PTF)值越高,溅射越容易起孤,溅射效率也会越高,薄膜的质量也会越好。本文讨论了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金微观结构和靶材表面PTF值的变化,并探讨了合金微观结构和靶材表面PTF值之间的关系。

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来源
《2007全国粉末冶金学术及应用技术会议暨海峡两岸粉末冶金技术研讨会》|2007年|568-570|共3页
会议地点北京
作者
穆健刚; 于宏新; 唐培新; 李群; 姚伟; 鲍学进; 张凤戈;
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作者单位

中国金属学会;

中国有色金属学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类磁性材料、铁磁材料;
关键词
钴铬钽合金靶材; 磁记录介质; 微观结构; 铁磁性; 热处理;

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