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基于DSMC方法的圆弧通道盘型分子泵3D流场数值模拟

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本文采用DSMC方法对圆弧通道盘型分子泵3D流场进行了数值模拟研究.首先,介绍了圆弧通道盘型分子泵的几何模型;接下来描述了使用DSMC方法进行圆弧通道盘型分子泵3D流数值模拟需解决的几个问题;最后讨论了不同结构、转速、圆盘表面反射模型对抽气性能的影响,并对圆弧通道盘型分子泵的设计提出了指导性意见.

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来源
《第八届真空冶金与表面工程学术会议》|2007年|338-342|共5页
会议地点沈阳
作者
刘波; 沈阳工业大学工程学院; 巴德纯; 钟亮;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TB752.27;
关键词
盘型分子泵; 圆弧通道; 3D流场; 数值模拟;

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