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压印溶胶-凝胶材料制备阵列微结构

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表面微结构的制备是微光子器件制备过程中一个十分重要的步骤.为了降低工艺复杂性和成本,把软刻技术与溶胶-凝胶材料相结合应用于微光子器件中光路微结构图案的制备.采用软刻工艺,即通过表面带微结构图案的弹性模板压印在玻璃或硅片上溶胶-凝胶来实现微结构图形的转移,研究重复使用PDMS模板来压印出微结构图案.用高倍光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观察所制备的溶胶-凝胶材料的表面微结构,分析影响压印结果的因素,获得了畸变小的表面微结构,如线阵结构(1维光栅)和点阵结构(2维光栅结构)图案.

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来源
《中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议》|2007年|278-280|共3页
会议地点武汉
作者
徐键; 王公平; 董建峰; 徐清波;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;薄膜物理学;
关键词
表面微结构; 溶胶-凝胶; 软刻工艺;

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