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电解铜与电镀铜蚀刻速率的研究

摘要

铜结晶的疏密程度不同,蚀刻速率也会有差别.本文通过surface etching的方式对比了电解铜、6种不同电镀条件下电镀铜的蚀刻速率,以找出铜结晶的疏密程度不同时,蚀刻速率有多大的差异.

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