超高帧频64×64元可见光CCD

摘要

为了对快速运动的目标跟踪成像或记录快速变化的过程,研制了超高帧频64×64元可见光CCD.该器件的存储区采用漏斗形结构提高了工作频率,光敏元采用多蓝光窗口提高了蓝光响应,衬底采用较高的电阻率50(欧姆.厘米)提高了红光响应,采用MPP技术降低了暗电流.器件的帧频为每秒2000帧,在450nm~900nm波长范围的平均量子效率为45%,动态范围达到了15000:1,暗电流为30pA/cm2.

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