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不同工作气体和Ti、Cr对碳膜的摩擦学性能的影响

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考察了分别以Ar、N<,2>、CH<,4>作为辅助轰击气体,以及添加Ti、Cr元素对磁控溅射制备碳膜的摩擦磨损性能的影响。应用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、纳米显微硬度计(Nano-identation)和Pin-on-disk磨损试验机考察了碳膜的表面形貌和摩擦学性能。结果表明:辅助轰击提高的碳膜的硬度,但与N<,2>和CH<,4>相比,Ar气提高碳膜的硬度和结合强度最为明显。其与GCr15组成摩擦副的摩擦系数<0.25;Cr在碳膜中以单质Cr、CrCx和CrOx的形式存在,正是由于大量单质Cr的存在,降低了碳膜的硬度和摩擦系数;Ti在碳膜中主要形成TiC,由此引起的磨粒磨损增加磨损率;载荷越大,碳膜的摩擦系数越小,磨屑起了关键作用。

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来源
《第十一次全国机械维修学术会议》|2007年|81-86|共6页
会议地点武汉
作者
杜军; 郭永明; 赵军军; 蔡志海;
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作者单位

中国机械工程学会;

中国工程机械学会;

中国中铁股份有限公司;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类摩擦与磨损;
关键词
磁控溅射; 耐磨镀层; 碳膜; 磨损性能; 表面形貌; 摩擦系数;

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