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基于MEMS天平的摩擦应力直接测量试验技术研究

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简要介绍了中国空气动力研究与发展中心自行设计研制的梳状结构浮动元件MEMS剪应力天平、天平静/动态性能校准方法和摩擦应力直接测量技术,给出了MEMS天平测得的平板模型摩擦应力结果,并进行了简要分析。研究结果表明,所发展的基于MEMS天平的摩擦应力直接测量技术是成功的。

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来源
《第一届近代实验空气动力学会议》|2007年|260-264|共5页
会议地点银川
作者
李建强; 屠恒章; 明晓; 胡成行; 蒋为民;
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作者单位

中国空气动力学会;

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会议组织
正文语种
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中图分类
关键词
MEMS天平; 摩擦应力; 风洞试验技术;

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