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表面处理对单基多电极石英晶体谐振器力-频特性的影响

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根据晶体振动的能限理论设计制作了单基多电极石英晶体谐振器。研究了这种结构的石英晶体谐振器的晶片表面处理(抛光)及边沿形状(倒边)对其力-频特性的影响；并与传统单基单电极石英晶体谐振器的力-频特性进行了比对分析。实验结果表明，对单基多电极石英晶体谐振器的晶片表面进行抛光并对边沿进行倒边处理，可有效地改善谐振器的力-频特性：在一定的加力方式下，单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性将优于单基单电极石英晶体谐振器的力-频特性。

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来源
《第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会》|2006年|261-264|共4页
会议地点杭州
作者
鄂然; 田文杰; 崔媛媛; 宁永怀;
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作者单位

中国力学学会;

中国声学学会;

浙江省力学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类高频振荡器;
关键词
石英谐振器; 表面处理; 晶体振动; 力频特性;

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