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热处理对钛酸锶钡薄膜光学性能的影响

摘要

采用无水溶胶-凝胶技术制备了钛酸锶钡光学薄膜,系统研究了预处理和退火温度对钛酸锶钡薄膜的相结构、微观形貌和光性能的影响,优化了薄膜的光学性能.研究结果表明,膜的结构和形貌直接影响其光学性能,获得致密、晶粒均匀的晶态薄膜是薄膜具有高的光学透过率、大的折射率和小的消光系数的关键.本实验通过150℃预处理和850℃退火获得了晶化程度良好,表面形貌平整、致密的钛酸锶钡薄膜,该膜在350-1000nm的最大光透过率为80.72%,在600-1000nm的折射率稳定在~1.93左右,消光系数最小,最小值为4×10-5.

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