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基于MEMS传感器的斜度测量系统设计

摘要

微机电系统具有体积小、重量轻、性能稳定、可大批量生产、性能一致性好、成本低等特点,在惯性测量中具有重要的发展前景,其中加速度(斜度)测量便是当前MEMS最重要的应用领域之一。rn 本文使用国外成熟的微加速度计器件ADXL202E。MEMS双轴加速度传感器ADXL202E是一种低成本、低功耗、功能完善的、集双轴加速度传感器干一体的单块集成电路。它既可测量动态加速度,又可测量静态加速度。本文首先对系统设计中关键芯片MEMS双轴加速度传感器ADXL202E作了简介,在研究基于MEMS技术的双轴加速度计ADXL202E工作原理的基础上,制订了关于斜度二维测量组合装置的系统方案,设计了系统电路,研制和开发系统装置。最后,通过单片机及VB串口通信编程,实现装置与计算机的实时串口通信,能够实时的监测斜度的动态变化。

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