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ZnO薄膜气敏元件

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通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍。

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来源
《第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会》|2006年|67-69|共3页
会议地点成都
作者
孙静静; 陈慧凯; 裘南畹; 李东华; 卫东;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.92;TP212.2;
关键词
ZnO薄膜; 气敏元件; Al2O3衬底; 粉末溅射; 酒气浓度计测; 气体传感器;

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