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一种SAM谐振式气体传感器

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在公共安全、食品、饮料、化妆品行业的产品监控,特别是用于环境污染物、爆炸性原料、毒品等挥发和半挥发性化合物的分析和检测中,便携、快速、精确、可靠的气体检测仪在国际国内得到普遍的关注.而高灵敏、高稳定的气体传感终端是研究的难点.声表面波检测器不但体积小,可重复性好,而且其生产采用微电子平面工艺,适合批量生产.通常作为SAW振荡器频控元件的SAW器件大致有两种,一种是SAW延迟线,另外一种即是SAW谐振器.SAW延迟线可在器件中留出较大面积的区域,适合于制作化学膜,但其损耗较大,间接影响其振荡器的频率稳定性;而SAW谐振器具有高品质因子和低损耗的特点,由它作为频控元件组成振荡器容易起振,尤其对于不需制作化学膜的传感终端,具有较大优势.本文介绍了一种SAM谐振式气体传感器.

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来源
《中国声学学会2006年全国声学学术会议》|2006年|269-270|共2页
会议地点厦门
作者
刘久玲; 李顺洲; 梁勇; 何世堂;
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作者单位

中国声学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212;
关键词
微电子; 声表面波; 传感器;

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