无钎剂激光喷射植球工艺的研究

摘要

本文研究了在氮气保护条件下,无钎剂激光喷射植球工艺参数对凸点剥离强度的影响.借助SEM和EDX,对凸点(Sn63Pb37)/焊盘(Au/Ni/Cu镀层)界面的组织形貌及相组成进行了分析.结果表明:在保证凸点外观质量的前提下,大激光电流短脉冲时间时凸点剥离强度较低,小激光电流长脉冲时间时凸点剥离强度较高.在现工艺参数条件下钎料球能很好地润湿焊盘,在凸点/焊盘界面处,形成了连续的AuSn4金属间化合物层并在界面附近处检测到AuSn4相的存在.

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