准晶材料真空蒸镀薄膜的研究

摘要

采用DMD-450真空镀膜仪将Al65Cu20Fe15准晶粉末通过在A3钢表面制备薄膜.通过改变工艺参数,获得了不同特性的薄膜.用透射电镜、扫描电镜(SEM)、X-射线衍射仪(XRD)等对薄膜的组织结构和性能进行了分析.试验结果表明:薄膜呈现分层结构,由CuAl2等相组成.另外,薄膜的相组织中含有Al65Cu20Fe15准晶相.延长蒸镀时间,薄膜厚度会相应地增大,硬度提高;提高电流,薄膜厚度会相应地增大,硬度提高.

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