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碳含量对TiAlCN薄膜组织结构及摩擦性能的影响

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TiAlCN薄膜以其优异的综合性能获得越来越多的关注.利用反应磁控溅射,通过调节TiAlC复合靶中石墨体积比例,获得不同碳含量的TiAlCN薄膜.研究表明随着复合靶中石墨增加,TiAlCN薄膜中C含量随之增加,硬度先增加后减小,当石墨体积比为50％,硬度获得最大值.组织结构由柱状晶结构依次转变为粗纤维结构、细纤维结构和玻璃态结构.组织中的晶体主要是面心结构的(Ti,Al)(C,N),并有少量六方结构的(Al,Ti)(C,N),都存在明显的结构取向;摩擦试验表明,TiAlCN薄膜的摩擦系数随薄膜中C含量的增加而减少,摩擦副磨球的磨损量相应减少,TiAlCN薄膜摩擦表面也从严重磨损向轻微逐渐过渡.C含量的增加具有明显的减摩耐磨作用.

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来源
《第四届中国热处理活动周暨第九届江苏省热处理年会》|2006年|44-49|共6页
会议地点南京
作者
张旭海; 蒋建清; 陈锋; 许盼盼; 谈荣生; 杨凯; 陈莹;
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作者单位

中国机械工程学会;

全国热处理学会;

江苏省热处理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类表面合金化（渗镀）;
关键词
TiAlCN薄膜; 磁控溅射; 摩擦性能; 碳含量; 组织结构;

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