首页> 中文会议>第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛 >ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响

ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

利用射频磁控溅射系统制备了调制周期Λ等于30 nm的一系列具有不同调制比例的ZrN/WN纳米多层膜.X射线衍射仪、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究表明:ZrN/WN纳米多层膜的界面清晰,调制周期性良好;适当的ZrN和WN调制比有利于混合晶相的氮化物生成,所有多层膜中都出现了结晶多元化.通过把ZrN周期性地插入到WN层,多层薄膜的整体应力得到缓解,在调制比tZrN∶tWN=2∶3时,纳米多层膜的应力值最小.多层膜的硬度和弹性模量基本高于ZrN和WN单层材料混合相的值,随着调制比的减小,它们的值均有上升趋势,并在tZrN∶tWN=2∶3时分别达到最高值34GPa和424 GPa.多层膜的机械性能改善明显与其调制层结构和多晶结构有着直接的联系.

著录项

来源
《第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛》|2006年|538-541|共4页
会议地点兰州
作者
杨瑾; 王明霞; 李德军;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;薄膜的生长、结构和外延;
关键词
射频磁控溅射; ZrN/WN纳米多层膜; 调制比例; 氮化物; 弹性模量; 多晶结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Ar/N2气体比例对ZrN/WN纳米多层膜的结构和性能的影响 [J] . 王明霞 ,张晶晶 ,杨瑾 . 真空科学与技术学报 . 2006,第z1期
2. ZrN/WN纳米多层膜的结构与性能研究 [J] . 王明霞 ,张晶晶 ,杨瑾 . 功能材料 . 2006,第008期
3. 调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响 [J] . 徐晓明 ,辛萍 ,王娟 . 真空科学与技术学报 . 2006,第z1期
4. 调制比对ZrN/NbB2纳米多层薄膜结构和机械性能的影响 [J] . 刘宸宇 ,王明霞 ,黄洁 . 天津师范大学学报（自然科学版） . 2017,第003期
5. Ar/N2气体比例对ZrN/WTiN纳米多层膜的影响 [J] . 王明霞 ,李德军 . 天津师范大学学报（自然科学版） . 2010,第003期
6. ZrN/WN超硬多层薄膜缺陷性质的慢正电子湮没研究 [C] . 王立群 ,李德军 ,王明霞 . 2006年全国功能材料学术年会 . 2006
7. 磁控溅射技术设计合成ZrN/WN和CrN/ZrN纳米多层膜的研究 [A] . 王明霞 . 2006

ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅